Установка F 300
(для прямого лазерного экспонирования (LDI) сухого пленочного фоторезиста)
Установка F 300 имеет 6 экспонирующих головок и предназначена для прямого экспонирования сухого пленочного фоторезиста.
Состоит из основного устройства LDI, двух устройств водяного охлаждения, которые охлаждают источник экспонирования и контролируют
внутреннюю среду, из стабилизатора напряжения, устройства для создания вакуума и файлового сервера для данных.
Основные технические характеристики
Модель устройства: F 300
Тип платформ: двойные платформы
Загрузка и разгрузка материалов: ручная
Максимальный размер базового материала: 630мм х 730мм
Максимальная зона экспонирования: 618мм х 730мм
Минимальный размер базового материала: 250мм х 250мм
Толщина базового материала: 0.05мм - 8.0мм
Минимальное разрешение: 40мкм (сухой пленочный фоторезист RD-1225 после проявки)
Глубина резкости: +300мкм
Погрешность ширины линии: +10% (после проявки)
Точность совмещения: +12мкм
Точность выравнивания промежуточных слоев: 24мкм
Количество линз: 6
Длина волны лазера: 405нм + 5нм
Суммарная мощность лазера: 6 x 50W
Равномерность энергии: >95%
Способ выравнивания: выравнивание через 4 точки / выравнивание через много точек
Типы точек для привязки: отверстие, PAD, и др.
Форматы входных файлов: Gerber274D/X, ODB++
Режимы зумминга: свободный зумминг, фиксированный зумминг, измеряемый зумминг
Максимальная производительность (выравнивание по четырем точкам):
.......7 поверхностей/мин @ 80мДж, 618мм x 690мм
.......8 поверхностей/мин @ 50мДж, 618мм x 690мм
Система MES: поддерживается система MES клиента
Метод создания файлов: поддерживается создание файлов с помощью одной кнопки
Обеспечение безопасности: стоп-ключ при опасности, занавески от света
Габариты: 2.87м (длина) х 1.91м (ширина) х 2.13м (высота)
Вес: Около 4.5т
Установка, сервисное обслуживание и техническая поддержка обеспечиваются высококвалифицированными специалистами нашей компании
и завода-изготовителя.
Возврат на предыдущую страницу
Наверх
