Расходные материалы и оборудование

Установка UVE-M545B (с автоматическим выравниванием по видеокамерам) предназначена для двухстороннего экспонирования сухого плёночного фоторезиста.
Машина оснащена системой автоматического совмещения фотошаблона и печатной платы по реперным знакам с контролем качества выравнивания
на встроенном видеомониторе.
С несколько меньшей производительностью установку можно эксплуатировать для экспонирования паяльной маски.

Основные характеристики
- размеры заготовки: от 355x305 мм до 546x622 мм (поля на заготовке должны быть более 7.5 мм)
- эффективная область экспонирования: 546x622 мм
- толщина заготовок: 0.1 - 3.2 мм
- размеры фотошаблона: фиксированный размер до 609.6x683.6 мм (указывается при заказе установки)
- фиксирование фотошаблона на стекле: вакуум более чем -650 мм.рт.ст.
- точность совмещения фотошаблонов: +15 мкм
- уровень вакуума в раме экспонирования: -180 ~-450 мм.рт.ст.
- источник света: две металлогалогеновые лампы мощностью 5 кВт (переключение мощности излучения 2 кВт, 5 кВт)
- равномерность: более 85%
- интенсивность излучения: 40 мВт/см² при длине волны 365 нм
- одновременное двустороннее экспонирование с производительностью 2-2.5 заготовки в минуту
- две рамы экспонирования 'стекло-стекло'
- ручная установка и снятие заготовки, автоматическое совмещение с рисунком фотошаблона
- фиксация заготовок: штифты 3 мм
- фиксация фотошаблона: вакуум
- система совмещения: автоматическое выравнивание по реперным знакам (диск на верхнем фотошаблоне; кольцо на
...нижнем фотошаблоне)
- система технического зрения: автоматически передвигаемые 4 ПЗС видеокамеры (при совмещении используются
...любые 2 или 3 камеры)
- переключение мощности ламп 5 кВт и 2 кВт
- автоматическое управление временем экспонирования
- управление установкой от программируемого логического контроллера и компьютера с большим сенсорным
..экраном
- охлаждение ламп экспонирования производится принудительным обдувом воздухом
- установка оснащена встроенной системой кондиционирования
- чистый воздух попадает в камеру экспонирования через встроенный HEPA фильтр класса 5000
- электропитание: 380 В x 3 фазы + нейтраль, 50 Гц, 60А, 20 кВА
- сжатый воздух: 5 атм, 40-80 л/мин
- подвод сжатого воздуха: 1/4"
- подвод / слив воды: 1¹/4"
- подвод чистой воды: 1/2", давление 2 кг/см²
- охладитель: 7-11^oС, 60 литров в минуту (охладитель с эффективностью 5 тонн)
- габариты установки: Ш1545 x Г3316 x В1800 + 120 мм
- условия эксплуатации: чистая комната класса 5000 с температурой 22+2^oС и относительной влажностью
..55+5%

Установка, сервисное обслуживание и техническая поддержка обеспечиваются высококвалифицированными специалистами нашей компании и завода-изготовителя.

Возврат на предыдущую страницу