| Экспонирование |
Энергия экспонирования (мДж/см2) |
180 |
| Экспонирование |
Чувствительность / 21ST |
10+1 |
| Разрешение |
Минимальный пробел (мкм) |
50 |
| Адгезия |
Минимальная ширина линии (мкм) |
45 |
| Ламинирование |
Максимальная глубина (мкм) |
25+5 |
| Проявка |
Время проявления (сек) |
60+5 |
| Снятие |
Время снятия (сек) (3%NaOH, 50oC) |
130+20 |
| Снятие |
Время снятия (сек) (5%NaOH, 50oC) |
90+20 |
| Снятие |
Размер частиц при снятии (мм) |
<30 |
| Тентинг |
Тентинг (D мм) |
8 |